graph LR
Root[1F 無塵室監控] --> ZoneA[黃光製程區]
Root --> ZoneB[清洗刻蝕區]
ZoneA --> S1["黃光乾外觀區
(0.5uM: 6 | 5uM: 2)"]
ZoneA --> S2["曝光機
(0.5uM: 14 | 5uM: 1)"]
ZoneB --> S3["清洗機
(0.5uM: 36 | 5uM: 5)"]
ZoneB --> S4["銅線刻機
(0.5uM: 42 | 5uM: 0)"]
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style S1,S2,S3,S4 fill:#f9f9f9,stroke:#333